一、項(xiàng)目信息
采購人：山西大學(xué)
項(xiàng)目名稱： 山西大學(xué)紫外光刻機(jī)采購項(xiàng)目
擬采購的貨物或服務(wù)的說明：
山西大學(xué)擬購置ABM Inc公司生產(chǎn)的紫外光刻機(jī)主要用于離子阱量子計(jì)算研究,。在芯片離子阱量子計(jì)算的實(shí)驗(yàn)中,，需要通過芯片阱的設(shè)計(jì)來突破常規(guī)離子阱的規(guī)模限制，從而獲得更大規(guī)模的離子阱量子位,，其光刻有效范圍： 6英寸方形,；曝光精度：0.6um微米(NUV)；分辨率小于1微米；光照強(qiáng)度不均勻性指標(biāo)（以365nm波長為參考）≤±3% 輻照中心點(diǎn)6英寸范圍內(nèi),；對準(zhǔn)系統(tǒng)為雙CCD照相對準(zhǔn)系統(tǒng)連續(xù)視頻縮放范圍在100-800倍 ,，分視野；對準(zhǔn)精度≤±0.5微米,；放大倍率連續(xù)可調(diào)：標(biāo)配100-800X,。目前能滿足上述特點(diǎn)的紫外光刻機(jī)只有美國ABM Inc公司生產(chǎn)，所以申請單一來源購置該紫外光刻機(jī),。
本次擬購買的美國ABM Inc公司生產(chǎn)的紫外光刻機(jī)設(shè)計(jì)易于操作,、穩(wěn)定性極高，具有穩(wěn)定的可重復(fù)曝光功能,，可以實(shí)現(xiàn)均勻可控的紫外光輸出,，是完成實(shí)驗(yàn)研究和教學(xué)科研工作中必不可少的設(shè)備之一。
擬采購的貨物或服務(wù)的預(yù)算金額： 999600 元
采用單一來源采購方式的原因及說明：目前滿足上述參數(shù)的紫外光刻機(jī),，只有美國ABM Inc公司生產(chǎn),，北京泰和浩天科技有限公司是美國ABM Inc公司在中國此項(xiàng)目授權(quán)的唯一代理商，因此,，申請以單一來源方式采購,。
二、擬定供應(yīng)商信息
名稱： 北京泰和浩天科技有限公司
地址： 北京市朝陽區(qū)阜通東大街12號樓14層（15）1401
三,、公示期限
2023 年 5 月 22 日至 2023 年 5 月 26 日（公示期限不得少于5個工作日）
四,、其他補(bǔ)充事宜：
五、聯(lián)系方式
1.采購人
聯(lián) 系 人： 程 斌
聯(lián)系地址： 山西省太原市塢城路92號
聯(lián)系電話： 0351-7011255
2.監(jiān)督部門
聯(lián)系人： 山西省財政廳政府采購管理處
聯(lián)系地址: 太原市小店區(qū)學(xué)府街41號
聯(lián)系電話： 0351-4123278
六,、附件
1,、專業(yè)人員論證意見
2、紫外光刻機(jī)采購項(xiàng)目明細(xì)
附件2：
紫外光刻機(jī)采購項(xiàng)目明細(xì)
序號 |
貨物名稱 |
數(shù)量 |
單位 |
預(yù)算單價（元） |
預(yù)算總價(元) |
品牌規(guī)格型號及配置技術(shù)參數(shù) |
備注 |
1 |
紫外光刻機(jī) |
1 |
套 |
999600 |
999600 |
1.主要技術(shù)指標(biāo)： *1.1 要求350W近紫外光源和雙通道固定光強(qiáng)和固定功率電源控制器,，紫外波長范圍350-450nm 6英寸方形光刻輻照輸出光源 *1.2 可達(dá)到輸出紫外光強(qiáng)照度參數(shù)如下： 365 nm – 18-20 mw/cm2 400 nm – 35-40 mw/cm2 *1.3 光刻有效范圍： 6英寸方形 *1.4 光照強(qiáng)度不均勻性指標(biāo)（以365nm波長為參考）: ≤±3% （輻照中心點(diǎn)6英寸范圍內(nèi)） *1.5 光刻最佳分辨率-：≤0.6微米 *1.6 對準(zhǔn)系統(tǒng)為雙CCD照相對準(zhǔn)系統(tǒng)連續(xù)視頻縮放范圍在100-800倍 *1.7 對準(zhǔn)精度:≤±0.5微米 *1.8 顯微鏡系統(tǒng)需具備位置記憶功能(即顯微鏡可以自動回到上一次設(shè)定的位置) *1.9 具備氮?dú)馔ㄈ牍δ?可于掩模板和基板之間通入氮?dú)馐蛊浞蛛x) 1.10 需具備攜行補(bǔ)償模式的自動Z軸方向水平補(bǔ)償功能 *1.11 對準(zhǔn)工作臺調(diào)整范圍：X軸±12.5mm,，Y軸±12.5mm，θ角±5°,，Theta精度：±0.0001度 1.12 曝光模式支持接近式,、軟接觸、硬接觸,、真空接觸,； 1.13 配置溫度及氣流感應(yīng)器并帶有安全控制開關(guān)； 1.14 配置氮?dú)馔?，可用于掩膜板和基板之間分離 2. 光源部分 2.1 光強(qiáng)控制：恒光強(qiáng)和恒功率選擇控制,，光強(qiáng)和功率可調(diào)； 3. 光強(qiáng)均勻性 3.1 ±3%,，150mm″晶圓基板,； 3.2 ±2%,，100mm″晶圓基板； 3.3 ±1%,，50mm″晶圓基板,； 3.4 紫外光燈源波長范圍：350～405nm； 3.5 曝光時間：0.1～999.9s聯(lián)系可調(diào),，最小調(diào)節(jié)尺度0.1s,。 4. 配置 4.1 抗衍射光反射鏡及蠅眼棱鏡。 5. 對準(zhǔn)系統(tǒng) 5.1 配備棱鏡對準(zhǔn)裝置,，最小雙視場對準(zhǔn)間距≦10mm,； 5.2 對準(zhǔn)工作臺調(diào)整范圍：X軸±12.5mm，Y軸±12.5mm,，θ角±5°,，Theta精度：±0.0001度； 6. 其他配置 6.1 進(jìn)口無油真空泵：壓力25-27mmHg,； 6.2 抗震臺,； |
進(jìn)口 |
合計(jì) |
999600 |
|
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2023-05-22
04.25
單一來源采購公示SDDY-20230209.16
信息公告欄目測試09.06
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關(guān)于山西大學(xué)東山校區(qū)一期第二階段建設(shè)項(xiàng)目 D-1化學(xué)與基礎(chǔ)學(xué)院及配套用房建筑工程規(guī)劃方案的公示03.18
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