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山西大學(xué)紫外光刻機(jī)采購項(xiàng)目(SDDY-220305) 單一來源征求意見公示 來源: 作者:

一、項(xiàng)目信息

采購人:山西大學(xué)

項(xiàng)目名稱: 山西大學(xué)紫外光刻機(jī)采購項(xiàng)目

擬采購的貨物或服務(wù)的說明:

山西大學(xué)擬購置ABM Inc公司生產(chǎn)的紫外光刻機(jī)主要用于離子阱量子計(jì)算研究,。芯片離子阱量子計(jì)算的實(shí)驗(yàn)中,,需要通過芯片阱的設(shè)計(jì)來突破常規(guī)離子阱的規(guī)模限制,從而獲得更大規(guī)模的離子阱量子位,,其光刻有效范圍: 6英寸方形,;曝光精度:0.6um微米(NUV);分辨率小于1微米;光照強(qiáng)度不均勻性指標(biāo)(以365nm波長為參考)±3% 輻照中心點(diǎn)6英寸范圍內(nèi),;對準(zhǔn)系統(tǒng)為雙CCD照相對準(zhǔn)系統(tǒng)連續(xù)視頻縮放范圍在100-800倍 ,,分視野;對準(zhǔn)精度≤±0.5微米,;放大倍率連續(xù)可調(diào):標(biāo)配100-800X,。目前能滿足上述特點(diǎn)的紫外光刻機(jī)只有美國ABM Inc公司生產(chǎn),所以申請單一來源購置該紫外光刻機(jī),。

本次擬購買的美國ABM Inc公司生產(chǎn)的紫外光刻機(jī)設(shè)計(jì)易于操作,、穩(wěn)定性極高,具有穩(wěn)定的可重復(fù)曝光功能,,可以實(shí)現(xiàn)均勻可控的紫外光輸出,,是完成實(shí)驗(yàn)研究和教學(xué)科研工作中必不可少的設(shè)備之一。

擬采購的貨物或服務(wù)的預(yù)算金額: 999600

采用單一來源采購方式的原因及說明:目前滿足上述參數(shù)的紫外光刻機(jī),,只有美國ABM Inc公司生產(chǎn),,北京泰和浩天科技有限公司是美國ABM Inc公司在中國此項(xiàng)目授權(quán)的唯一代理商,因此,,申請以單一來源方式采購,。

二、擬定供應(yīng)商信息

名稱: 北京泰和浩天科技有限公司

地址: 北京市朝陽區(qū)阜通東大街12號樓14層(15)1401  

三,、公示期限

2023522 2023 526 公示期限不得少于5個工作日

四,、其他補(bǔ)充事宜:

五、聯(lián)系方式

1.采購人

聯(lián) 系 人:   

聯(lián)系地址: 山西省太原市塢城路92號 

聯(lián)系電話:   0351-7011255   

2.監(jiān)督部門

聯(lián)系人: 山西省財政廳政府采購管理處

聯(lián)系地址: 太原市小店區(qū)學(xué)府街41號

聯(lián)系電話: 0351-4123278

,、附件

1,、專業(yè)人員論證意見

2、紫外光刻機(jī)采購項(xiàng)目明細(xì)



附件2:

紫外光刻機(jī)采購項(xiàng)目明細(xì)

序號

貨物名稱

數(shù)量

單位

預(yù)算單價(元)

預(yù)算總價(元)

品牌規(guī)格型號及配置技術(shù)參數(shù)

備注

1

紫外光刻機(jī)

1

999600

999600

1.主要技術(shù)指標(biāo):

*1.1 要求350W近紫外光源和雙通道固定光強(qiáng)和固定功率電源控制器,,紫外波長范圍350-450nm 6英寸方形光刻輻照輸出光源

*1.2 可達(dá)到輸出紫外光強(qiáng)照度參數(shù)如下:

365 nm – 18-20 mw/cm2

400 nm – 35-40 mw/cm2

*1.3 光刻有效范圍: 6英寸方形

*1.4 光照強(qiáng)度不均勻性指標(biāo)(以365nm波長為參考): ≤±3% (輻照中心點(diǎn)6英寸范圍內(nèi))

*1.5 光刻最佳分辨率-:≤0.6微米

*1.6 對準(zhǔn)系統(tǒng)為雙CCD照相對準(zhǔn)系統(tǒng)連續(xù)視頻縮放范圍在100-800倍

*1.7 對準(zhǔn)精度:≤±0.5微米

*1.8 顯微鏡系統(tǒng)需具備位置記憶功能(即顯微鏡可以自動回到上一次設(shè)定的位置)

*1.9 具備氮?dú)馔ㄈ牍δ?可于掩模板和基板之間通入氮?dú)馐蛊浞蛛x)

1.10 需具備攜行補(bǔ)償模式的自動Z軸方向水平補(bǔ)償功能

*1.11 對準(zhǔn)工作臺調(diào)整范圍:X軸±12.5mm,,Y軸±12.5mm,θ角±5°,,Theta精度:±0.0001度

1.12 曝光模式支持接近式,、軟接觸、硬接觸,、真空接觸,;

1.13 配置溫度及氣流感應(yīng)器并帶有安全控制開關(guān);

1.14 配置氮?dú)馔?,可用于掩膜板和基板之間分離

2. 光源部分

2.1 光強(qiáng)控制:恒光強(qiáng)和恒功率選擇控制,,光強(qiáng)和功率可調(diào);

3. 光強(qiáng)均勻性

3.1 ±3%,,150mm″晶圓基板,;

3.2 ±2%,,100mm″晶圓基板;

3.3 ±1%,,50mm″晶圓基板,;

3.4 紫外光燈源波長范圍:350~405nm;

3.5 曝光時間:0.1~999.9s聯(lián)系可調(diào),,最小調(diào)節(jié)尺度0.1s,。

4. 配置

4.1 抗衍射光反射鏡及蠅眼棱鏡。

5. 對準(zhǔn)系統(tǒng)

5.1 配備棱鏡對準(zhǔn)裝置,,最小雙視場對準(zhǔn)間距≦10mm,;

5.2 對準(zhǔn)工作臺調(diào)整范圍:X軸±12.5mm,Y軸±12.5mm,,θ角±5°,,Theta精度:±0.0001度;

6. 其他配置

6.1 進(jìn)口無油真空泵:壓力25-27mmHg,;

6.2 抗震臺,;

進(jìn)口

合計(jì)

999600

2023-05-22
常用鏈接+

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